从机械运筹帷幄的角度分析EUV光刻机的时间难点【SSR-026】淫猥秘書，主要波及高精度的瞄准系统运筹帷幄和截止系统的复杂性。

1.高精度的瞄准系统运筹帷幄

EUV光刻机需要达成微米级的精度和区分率【SSR-026】淫猥秘書，这条件瞄准系统具有近乎竣工的精密机械工艺。

国产光刻机在这一方面可能与某些外洋品牌还存在少许点时间差距，因为好多外洋光刻机禁受了至极专利的机械工艺运筹帷幄，举例全气动轴承运筹帷幄专利时间，灵验幸免轴承机械摩擦所带来的工艺瑕玷。

开心色播

2.截止系统的复杂性

EVA光刻机的截止系统运筹帷幄包括硬件运筹帷幄和软件运筹帷幄两个方面。硬件运筹帷幄波及电源供应、说明截止、光学部件、硬件接口等，而软件运筹帷幄则包括截止算法、东谈主机交互界面、数据科罚等。

这些系统的运筹帷幄和制造需要跨学科的学问和高度精准的时间【SSR-026】淫猥秘書，以确保光刻机大概在纳米级标准上精准地投射后光，制造芯片上的复杂电路。